基于机械耦合谐振器的MEMS超窄带滤波器研究

项目名称： 基于机械耦合谐振器的MEMS超窄带滤波器研究

项目编号： No.61404136

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 袁泉

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 29万元

中文摘要： 本项目针对未来无线通信领域对集成化、低功耗的超窄带滤波器的需求，基于高频、高Q值的微机械式谐振器和耦合结构实现具有低插入损耗，超窄带特性的MEMS超窄带滤波器。建立微纳尺度下谐振器模型，探明微纳谐振的模态敏感机理，发展高阶模态提取等提高谐振频率的新原理，通过揭示微纳谐振器的能量损失机理和噪声特性随尺度变化规律，实现低能量损耗的高频、高Q微纳机电谐振结构；从机械波传播原理出发，分析耦合机理，建立微纳机械谐振式滤波器理论基础。设计低速点耦合和弱耦合梁结构，实现超窄带滤波特性。开发具有纳米级精度的微纳加工工艺，开拓拥有自主知识产权的微米/纳米结构及器件的构筑技术。通过电路设计和检测方法改进，减小馈通信号和噪声干扰，开发高灵敏度的MEMS微弱信号检测方法。本项目的研究为实现集成化、高性能的MEMS射频谐振滤波器奠定了基础。

中文关键词： 微机电系统；谐振器；滤波器；超窄带；耦合梁

英文摘要： The project focuses on the demand of integrated and low-power ultra-narrow band filter applied in future wireless communications. High frequency and high Q micro- mechanical resonators with coupling structure were utilized to achieve ultra- narrowband MEM

英文关键词： MEMS；Resonator；Filter；ultra-narrowband；coupling beam