新型压电薄膜及高灵敏声波传感器研究及应用

项目名称： 新型压电薄膜及高灵敏声波传感器研究及应用

项目编号： No.11174142

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 张淑仪

作者单位： 南京大学

项目金额： 75万元

中文摘要： 由于微型器件的发展和应用，发展压电薄膜和微型声学器件引起很大重视，本项目主要从事两方面工作： I．研制新型压电薄膜：制备高质量压电薄膜是研制微型声学器件非常关键的工作，本研究主要分几个步骤：1.从材料科学角度设计新型薄膜组份，在已有的压电材料中掺入不同元素以提高其性能；2.改进晶体结构，研制单晶压电薄膜，使薄膜换能效率提高，且是损耗减小。 II．研制高灵敏声波传感器：由于声波传感器稳定度高、体积小、易于小批量生产和成本低而受到广泛重视，但是检测灵敏度还有待进一步改进和提高。主要研究以下内容：1.建立声波在多层材料中传播的理论模型，为具体设计和优化传感器提供理论指导和依据；2.设计和制作高频、微型电声换能器结构，有效激发和接收声波能量，并使器件高效、小型化；3.选择适当导波层和敏感层材料及优化沉积技术，以求达到高灵敏地反映被检测物质对声传播的影响，提高灵敏度；4.开拓传感器在不同领域的应用。

中文关键词： 压电薄膜；表面声波；声学器件；传感器；声传播理论

英文摘要：

英文关键词： Piezoelectric film；surface acoustic wave；acoustic device；sensor；acoustic propagation theory