基于聚合物先驱体陶瓷（PDC）制造耐超高温无线无源MEMS传感器的应用基础研究

项目名称： 基于聚合物先驱体陶瓷（PDC）制造耐超高温无线无源MEMS传感器的应用基础研究

项目编号： No.51175444

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 余煜玺

作者单位： 厦门大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 本项目是在当前航空航天领域对耐超高温（>1000℃）和抗恶劣环境的高性能传感器系统迫切需求的背景下，提出了发展一种基于聚合物先驱体陶瓷（PDC）材料的、具有高Q值和耐高温性能的谐振腔式无线无源MEMS传感器。PDC陶瓷是一种结构、组分以及性能可调节的新型耐超高温抗腐蚀的半导体陶瓷材料，而无线无源方式传感器信号输出无需引线连接和电源系统，因此该PDC陶瓷基传感器可以在高温恶劣环境中正常工作。本项目以开发PDC陶瓷材料及其MEMS微加工技术为基础，依据原子/纳米结构构建物理模型解释PDC陶瓷的高温物理性能，揭示PDC陶瓷基高Q值微波谐振腔应用于MEMS传感器的机理。在试验上，利用MEMS微加工技术制造耐超高温（>1000℃）PDC陶瓷基无线无源的压力和温度传感器。在高温恶劣实验环境条件下，对传感器进行测试，评估传感器的有效性和可靠性。

中文关键词： PDC陶瓷；MEMS；传感器；耐高温；

英文摘要：

英文关键词： Polymer-derived ceramic；MEMS；Sensor；High-temperature resistance；