考虑纳米工艺偏差的互连线随机寄生参数快速提取算法研究

项目名称： 考虑纳米工艺偏差的互连线随机寄生参数快速提取算法研究

项目编号： No.60976034

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 曾璇

作者单位： 复旦大学

项目金额： 40万元

中文摘要： 复杂纳米工艺的严重偏差造成集成电路性能的随机波动，导致芯片成品率大幅降低。考虑工艺偏差的互连线的参数提取是提升芯片成品率研究的核心科学问题和前沿研究热点。现有的考虑工艺参数随机偏差的互连线寄生参数提取方法主要是基于参数偏差满足高斯随机分布的假设，不可避免地带来了建模误差；此外随机采样造成的计算量爆炸问题无法满足互连线参数提取实用性的需要。考虑实际的几何参数偏差是任意随机分布，本项目一方面将建立考虑任意随机分布的随机谱方法的理论，包括广义随机正交多项式构造方法和扩展的嵌套式和非嵌套式稀疏网格构造方法，应用于求解工艺参数偏差下的互连线寄生参数提取问题；另一方面，研究包括不依赖于积分核的并行多极加速算法在内的高效数值计算和并行计算技术，解决互连线参数提取计算量爆炸问题，填补学术界关于任意随机分布的互连线建模和分析方法的空白。研究成果将为我国十一五期间纳米尺度集成电路设计提供原创理论和方法支持。

中文关键词： 互连线寄生参数提取；工艺参数偏差；并行有限元方法；模型降阶；

英文摘要：

英文关键词： parasitic extraction；process variation；parallel Finite Element Method；Model Order Reduction；