误差补偿式激光偏振干涉直线度及位移测量方法研究

项目名称： 误差补偿式激光偏振干涉直线度及位移测量方法研究

项目编号： No.51375461

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 陈本永

作者单位： 浙江理工大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 直线度是表征机械装备和导轨制造性能的一项基本几何量参数。在众多的检测方法中，激光直线度干涉测量法因具有较高测量精度而一直是国内外研究重点，但是现有该方法仅给出了直线度误差大小，未给出直线度误差的位置信息，也未涉及测量镜与被测对象的接触方式带来的运动误差和测量中阿贝误差对测量精度的影响等。本申请项目从光路结构设计的源头进行直线度测量原理的创新，提出一种激光偏振干涉测量直线度误差及其位置信息的通用方法，解决直线度误差及其位置信息同时获取的关键技术问题，辅助以四象限探测器检测俯仰角、偏摆角和转角，进行直线度测量结果的修正和补偿，实现被测对象2个直线度误差和3个转角误差及其位置的6自由度测量，建立一种误差补偿式的激光偏振干涉直线度测量原理，研制一套高精度的新型激光偏振干涉直线度测试计量系统装置，旨在建立精确的直线度信息测量与表征方法，为我国高端装备和精密导轨制造提供高性能的直线度检测与校准仪器。

中文关键词： 直线度误差；激光偏振干涉；位移测量；角度测量；多自由度

英文摘要： Straightness is one fundamental geometric tolerance which characterizes the manufacturing performance of mechanical equipments and guide rails. Among various straightness measurement methods, laser interferometric straightness measurement has an advantage

英文关键词： Straightness error；Laser polarization interferometry；Displacement measurement；Angle measurement；Multiple degrees of freedom