基于激光自混合干涉的小型光学测头的应用基础研究

项目名称： 基于激光自混合干涉的小型光学测头的应用基础研究

项目编号： No.51405340

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 吴腾飞

作者单位： 天津大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 坐标测量机作为现代大型精密测量仪器，广泛地用于先进工业检测和制造中，而测头作为测量机中拾取信号的重要传感器件，决定了测量机的功能、精度、效率和柔性程度，其中光学测头凭借着无接触、高效率的特性成为了测量机测头发展的重要方向。现有的光学测头由于体积、精度、动态性能、适用范围等方面的不足，不能完全满足工业检测和精密制造领域的需求。基于此，本项目探索把激光自混合干涉效应应用于坐标测量机光学测头中。项目将研究激光自混合干涉测距机理、高精度距离解算方法、光回馈强度控制方法、光频调制非线性抑制措施、激光器和光电接收器噪声抑制措施、光学测头标定等基本问题，以期实现微米级的距离测量精度，并且大大提高测量效率，拓展应用范围，为高质量、高效率的工业检测和制造提供全新的理论基础和技术途径。

中文关键词： 激光自混合干涉；垂直腔面发射激光器；全相位谱分析；遗传算法；电流重构

英文摘要： As a modern large-scale precision measuring instrument, coordinate measuring machine is widely used in advanced industrial inspection and manufacturing, while the probe, acting as an important sensor in measuring machine, determines the function, accuracy

英文关键词： laser self-mixing interferometry；vertical cavity surface emitting laser；all-phase spectrum analysis；genetic algorithm；current reshaping