基于表面压痕技术的凹微透镜及其阵列加工方法的研究

项目名称： 基于表面压痕技术的凹微透镜及其阵列加工方法的研究

项目编号： No.51402356

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 牛一凡

作者单位： 中国民航大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 微光学技术的应用对通信、国防及生物技术等众多领域产生了深远的影响。微光学元件的制造技术是微光学技术的核心内容，也是各国精密制造领域的研究热点之一。本项目提出一种硅－氧基材料上基于机械压痕技术的微透镜结构加工方法，将实现微米及亚微米尺度高质量微透镜及其阵列的精密制造。通过进一步完善我们此前研究中机械压头与材料相互作用的原理模型，从理论和实验角度对不同直径和面型的透镜加工过程中的关键工艺参数进行探索，并将制定此项技术的标准工艺流程。本方法无需光刻过程，加工流程简单高效，能够实现极高的表面粗糙度和面型精度控制。通过本方法来设计制造的凹透镜及其阵列还可以直接作为模板通过热压印等手段制造高精度的凸透镜及其阵列。本方法将提供微透镜制造领域的一种全新手段，能够有效地为微光学技术应用提供支撑。

中文关键词： 机械压痕；加速溶解；压密区域；面型控制；微透镜阵列

英文摘要： The application of micro-optics has generated remarkable influences on many fields, such as communication, bio-technology, and national defense. As one of the key techniques in modern micro-optics, the fabrication of optical elements has attracted signifi

英文关键词： mechanical indentation；accelerated dissolution；densification area；shape control；micro lens and array