具有曲率突变特征微结构的触针斜率自适应形貌测量方法研究

项目名称： 具有曲率突变特征微结构的触针斜率自适应形貌测量方法研究

项目编号： No.51405314

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 许斌

作者单位： 四川大学

项目金额： 28万元

中文摘要： 针对微制造技术中不断出现的复杂三维拓扑微结构的表面形貌检测问题，提出接触式探针斜率自适应方法，对具有曲率突变特征的微结构进行形貌测量研究。通过研制立式微探针装置，集成XYZ-β四维扫描探针形貌测量系统，研究微探针多场多参数微观动力学特性，阐明微结构形貌测量时探针粘滑失稳、惯性跳动、共振扰动等现象的机理，揭示不同环境要素（样品面形特征、测量速度、采样步距等）下，探针微观动力学行为引入测量误差的规律，优化XYZ-β四维扫描系统的伺服控制策略，建立具有曲率突变特征微结构的接触式探针斜率自适应形貌测量方法。本项研究既符合微制造技术领域关于微结构表面形貌检测的实际工程技术需求，也面向了精密测量技术的共性科学问题；相关研究工作有助于有效解决实体/非实体探针形貌测量系统中测量误差对被测样品斜率敏感的问题，为进一步增大精密形貌测量技术的最大可探测角、减小测量误差、提高测量精度提供理论支持和技术支撑。

中文关键词： 微小器件；复杂面形；形貌测量；动力学特性；

英文摘要： In the field of micro-manufacturing technology, the surface profile of microstructures needs to be measured with great precision owing to the rapidly increasing complexity of their geometry. The geometric complexity of microstructures is presented by stee

英文关键词： Microstructures；Steep slope；Profile measurement；Dynamic feature；