基于显微条纹投影术的全视场MEMS三维形貌和运动参数表征

项目名称： 基于显微条纹投影术的全视场MEMS三维形貌和运动参数表征

项目编号： No.50975201

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 陈津平

作者单位： 天津大学

项目金额： 38万元

中文摘要： 本项目提出一种基于显微条纹投影术的MEMS大范围高精度静态、动态参数全视场测试的新方法,研究内容包括：显微条纹投影系统的数学模型、标定策略和方法以及误差补偿技术；相移调制技术在显微条纹投影术中的应用，采用具有自适应噪声免疫功能的特定相位提取算法，提高系统测量精度；条纹变频技术在系统中的应用，提高相移调制方法的测量范围；深度扫描条纹投影技术，采用小波变换条纹包络峰探测算法，实现欠采样条件下的测量，提高系统测量速度；基于模板的相位解包裹算法和基于时间轴、空间轴的双向展开方法，实现微结构动态轮廓特征的测量；在频闪光照明条件下，将计算机微视觉技术和显微条纹投影技术相结合，实现器件全三维耦合运动的测量。该系统适用于具有较大尺寸MEMS器件的静态和动态表征，可以测量多个微结构间的相互位置和运动关系，大大提高测量效率，为微系统的设计、加工过程评价和质量控制提供可靠的数据反馈。

中文关键词： 微机电系统；显微条纹投影术；系统模型和标定；相移调制；频闪照明

英文摘要：

英文关键词： MEMS；Microscopic fringe projection；System model and calibration；Phase shifting modulation；Stroboscopic illumination