天文自适应光学系统微缩束镜-MEMS变形镜新型校正器研究

项目名称： 天文自适应光学系统微缩束镜-MEMS变形镜新型校正器研究

项目编号： No.11403029

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 天文学、地球科学

项目作者： 汪为民

作者单位： 中国科学院光电技术研究所

项目金额： 26万元

中文摘要： 基于微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）技术的分立镜面变形镜克服了传统变形镜结构复杂、制作费时、成本昂贵的缺点，已成为自适应光学系统中小型波前校正器的研究热点。然而，分立镜面微变形镜填充因子较低、单元间隔对待校正波前造成衍射等问题影响了其在天文望远镜领域的应用。本项目提出了一种微透镜-MEMS变形镜混合校正器。这种新型校正器在进行波前校正时可有效增大系统的填充因子，且不引入像差及增加系统的复杂度。本项目拟对该混合校正器的工作原理、器件的结构设计和制作、以及单片集成工艺等进行研究，以期获得具有一定校正能力的原型样品并搭建自适应光学系统进行实验验证，从而准确评价本方案的校正效果和适用性。本项目的研究将为分立镜面微变形镜的实际应用奠定基础，有效促进MEMS技术的产业化。

中文关键词： 微机电系统；变形镜；自适应光学；微缩束镜；波前畸变

英文摘要： Segmented deformable mirrors(DMs) based on MEMS technology have the advantage of simple structure, low cost and short fabrication cycle compared with conventional DMs. As a result, the MEMS DMs attract more and more research interests and becomes a new po

英文关键词： MEMS；Deformable mirror；Adaptive optics；Micro-reducer；Wavefront distortion