脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究

项目名称： 脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究

项目编号： No.11375040

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 戴忠玲

作者单位： 大连理工大学

项目金额： 83万元

中文摘要： 针对等离子体增强原子层刻蚀工艺过程，建立由自洽的脉冲调制等离子体放电模型、表面过程模型与刻蚀形貌演化模型所构成的多尺度模型，提出等离子体混合模拟与动力学蒙特卡洛模拟等相结合的计算方法，研发出高效、稳定和高精度的包括等离子体输运过程、表面过程和刻蚀过程的模拟程序，多个尺度地模拟等离子体增强原子层刻蚀全过程。着重研究脉冲感性耦合等离子体余辉物理特性，探索离子选择性输运与输出控制方法，提出带边界电极的感性耦合等离子体腔室结构以及同步脉冲调制方法，实现对离子流能量、角度和通量的相对独立控制，进而获得低能量近单能离子流；通过刻蚀过程模拟评估刻蚀速率与刻蚀精度；研究外部参数（如气体组分、浓度和气体压强等）和电源参数（射频功率、频率和幅值、脉冲频率和占空比等）对刻蚀过程中的表面物理化学过程、刻蚀形貌演化的影响和定标关系，探索参数调控方法，为等离子体增强原子层刻蚀工艺稳定性的提高和参数优化提供理论依据。

中文关键词： 等离子体；等离子体增强原子层刻蚀；脉冲调制等离子体；多尺度模型；剪裁波

英文摘要： For pulse modulated plasma-enhanced atomic layer etching (PEALE) processes，we will establish a self-consistent multi-scale model which includes the hybrid model of plasma discharge processes, the surface physical and chemical model and the etching profi

英文关键词： plasma；PEALE；pulse-modulated discharge；multi-scale model；tailored voltage waveform