氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究

项目名称： 氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究

项目编号： No.11175127

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 辛煜

作者单位： 苏州大学

项目金额： 70万元

中文摘要： 卤素基等离子体是日益受到人们重视的可用于硅太阳能电池片干法制绒的一种工艺技术，该技术具备了替代对环境不友好的湿法化学制绒的优势，但如何实现实用化的硅表面等离子体干法制绒是降低光线反射率、提高电池片内量子效率和光电转换效率的一大关键。本项目将针对两种不同能量耦合模式（容性与感性）产生的氟、氯等离子体及与多晶硅制绒特性的之间关联进行研究。一方面，对氟、氯基强电负性的射频等离子体进行一系列的诊断与测量，理清等离子体参量、基团特征、离子能量特性等与耦合模式及放电频率之间的依赖关系；另一方面，阐明氟-氧基等离子体与氟-氯基等离子体对多晶硅表面的制绒机制，找到等离子体的放电参量与多晶硅绒面调制以及光谱响应之间的关联，为无掩膜、无损伤的多晶硅干法制绒工艺提供依据。该项目的实施将有助于发展我国拥有自主知识产权的等离子体干法制绒技术，具有重要的科学意义和应用目标。

中文关键词： 容性耦合等离子体；电负性；朗缪尔探针诊断；微波共振探针；plasma texturing

英文摘要：

英文关键词： capactively coupled plasma；electronegativity；langmuir probe diagnosis；microwave resonance probe；plasma texturing