调谐输出式硅MEMS陀螺确定性误差机理、建模及标定补偿方法研究

项目名称： 调谐输出式硅MEMS陀螺确定性误差机理、建模及标定补偿方法研究

项目编号： No.60904093

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李建利

作者单位： 北京航空航天大学

项目金额： 18万元

中文摘要： 硅MEMS陀螺是一种低成本、微小型角速度传感器，是微小型惯性测量系统的核心器件，本项目针对硅MEMS陀螺精度低、环境适应性差问题，提出一种调谐输出式硅MEMS陀螺确定性误差机理、建模及标定补偿方法，以调谐输出式硅MEMS陀螺为对象，采用理论结合试验分析的方法，研究包括加速度二次项以及耦合高次项的陀螺静态误差模型，设计高精度的静态误差标定和补偿方法，解决加速运动下陀螺测量精度问题；研究陀螺角加速度、角速度交叉耦合以及线角运动耦合动态误差机理，建立高次、高阶动态误差模型，设计高精度动态误差标定和补偿方法，解决动态环境下陀螺确定性误差问题；研究陀螺温度梯度误差机理以及加速度与温度耦合误差机理，提出硅MEMS陀螺精确的组合温度误差模型，通过误差补偿提高器件温度环境适应性；探索研究硅MEMS陀螺电磁误差机理并提出抑制和补偿方法。最后进行综合环境验证试验研究，验证上述方法的有效性和可行性。

中文关键词： 微机电陀螺；误差；机理；建模；标定

英文摘要：

英文关键词： MEMS gyroscope；Error；Mechanism；Modeling；Calibration