LLM-as-a-Judge has been widely applied to evaluate and compare different LLM alignmnet approaches (e.g., RLHF and DPO). However, concerns regarding its reliability have emerged, due to LLM judges' biases and inconsistent decision-making. Previous research has developed evaluation frameworks to assess reliability of LLM judges and their alignment with human preferences. However, the employed evaluation metrics often lack adequate explainability and fail to address LLM internal inconsistency. Additionally, existing studies inadequately explore the impact of various prompt templates when applying LLM-as-a-Judge methods, leading to potentially inconsistent comparisons between different alignment algorithms. In this work, we systematically evaluate LLM-as-a-Judge on alignment tasks by defining more theoretically interpretable evaluation metrics and explicitly mitigating LLM internal inconsistency from reliability metrics. We develop an open-source framework to evaluate, compare, and visualize the reliability and alignment of LLM judges, which facilitates practitioners to choose LLM judges for alignment tasks. In the experiments, we examine effects of diverse prompt templates on LLM-judge reliability and also demonstrate our developed framework by comparing various LLM judges on two common alignment datasets (i.e., TL;DR Summarization and HH-RLHF-Helpfulness). Our results indicate a significant impact of prompt templates on LLM judge performance, as well as a mediocre alignment level between the tested LLM judges and human evaluators.


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