多探针集成纳米力学检测技术与系统研究

项目名称： 多探针集成纳米力学检测技术与系统研究

项目编号： No.10972113

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 李喜德

作者单位： 清华大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 基于电子扫描和原子力扫描显微镜观察平台，研究纳米尺度结构和器件的力学性能检测系统，发展纳米尺度检测对象的夹持、加载和探测技术，从实验角度研究夹持、加载单元和夹持对象的相互作用强度及机理；研究纳米固体实验力学的原位、精细计量技术，尤其是发展对纳米特征尺度检测对象的原位逐点和全场检测新技术；研究特征尺度为微米量级的微力传感器，探讨微尺度微力传感器的感知机理、微力信号的转换与传输、标定以及与检测系统的连接技术，分析微力的控制与稳定性能；研究纳米实验检测中的一体化分析方法以及提取变形、应力等力学参数的测量方法，发展和实验相结合的考虑纳尺度条件下的关键相互作用、相互耦合、非线性和多参数系统的力学参量反演方法；通过建立的纳米力学检测系统和检测技术，从实验入手结合理论和数值分析，研究纳米引线和低电介质材料的力学性能及其演化对纳米线电参数的影响，研究典型纳米结构在范德华相互作用下的运动和变形特性。

中文关键词： 微纳米尺度实验力学；材料力学性能；探针；纳米互连引线；纳米压入测量

英文摘要：

英文关键词： Micro/nano scale mechanics；mechanical behavior；AFM probe；nano interconnect；nana scale indentation