复合测头的表面特征尺寸检测方法与技术研究

项目名称： 复合测头的表面特征尺寸检测方法与技术研究

项目编号： No.61362035

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 林浩山

作者单位： 广西师范大学

项目金额： 43万元

中文摘要： 表面质量检测与评价是制造技术的核心基础与关键。先进制造及纳米制造发展对加工及表面质量的不同尺度一体化检测要求越来越高，对现有检测方法与技术提出了新挑战。本项目将开展双频激光干涉、微探针扫描探测、二次谐波边界探测、快速预置点设置、多参量神经网络分析等关键技术与方法研究；探究表面轮廓特征成型机理，设计光探针与扫描探针复合探测头，研究不同尺度特征一体化测量关键技术与方法；采用扫描探针与样品接触模型进行仿真计算与实验验证边界定位的高度阈值参量；探索基于双频激光干涉与扫描探针探测的表面特征尺寸检测新方法；分析微探针敲击模式与二次及高阶谐波规律，探索工作预置点快速定位方法；基于 BP网络分类提取表面轮廓多尺度多特征参数及数据可视化；构建基于双频激光干涉、微探针探测、压电扫描与神经网络处理的表面轮廓参数集成一体化检测系统，实现高效率检测与测量便携化，为表面质量分析提供测量评价手段。

中文关键词： 外差干涉；缺陷检测；扫描探针；相位测量；

英文摘要： The surface quality inspection and measurement are the core foundation of advanced manufacturing technology and key issues. With the development of super finishing and nano-manufacturing the requirement of multi-scale integration measurement for surface q

英文关键词： Heterodyne interferometry；Defect detection；Scanning microprobe；Phase measurement；