Si/Ge长波长单光子探测器基础研究

项目名称： Si/Ge长波长单光子探测器基础研究

项目编号： No.60906035

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 生物科学

项目作者： 薛春来

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 22万元

中文摘要： 具有单光子级别的红外弱光信号探测技术在生物信息感知和量子通讯领域具有巨大的应用前景。APD是实现单光子探测的重要元件，相对于ⅢⅤ#26063;材料，Si/Ge APD器件具有噪声低，与现有的Si CMOS工艺兼容性高等优点，这为实现单光子探测系统控制电路与探测器件的集成提供了可能，也为以后发展Si基量子通信系统提供了一种可行的选择。本课题针对单光子级的微弱光信号检测需求，以发展适用于生物体内结构信息感知及量子信息应用的新型光子探测器件为目标，通过对Si/Ge SACM结构的APD器件结构中倍增区、电荷层以及吸收区的参数调节，优化器件盖革模式下工作性能，控制异质结界面位错，调节带隙变化，为面向单光子探测应用的Si/Ge APD器件的设计提供理论指导。并在此基础上对器件材料结构及制备工艺进行优化，制备出低穿透位错密度的器件材料，进而研制出具有单光子探测性能的APD器件。

中文关键词： 硅；锗；雪崩光电探测器；吸收倍增分离；

英文摘要：

英文关键词： Si；Ge；APD；SACM；