高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究

项目名称： 高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究

项目编号： No.61372019

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 揣荣岩

作者单位： 沈阳工业大学

项目金额： 78万元

中文摘要： 压阻式加速度传感器是最早实现商品化的MEMS加速度计，具有成本低、易于集成等优势，但温漂较大，存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的普遍弱点。重掺杂多晶硅纳米膜具有良好的压阻特性和温度稳定性，本项目将基于这种纳米功能材料设计一种带有主梁和超薄敏感微梁的MEMS加速度传感器。利用纳米膜压阻微梁之超常的机械特性和良好的压阻特性，提高灵敏度，改善温度特性；通过对该敏感结构之主梁和微梁的合理设计，解决加速度传感器中普遍存在的谐振频率与灵敏度相互制约的难题，达到均衡提高固有谐振频率和灵敏度的目的；突破微梁加工和芯片钝化、封装等关键技术，研制出新型加速度传感器样品，并最终验证这种压阻加速度传感器的可行性及优势。该项目的开展可望在隧道压阻效应、纳米复合膜微梁力学特性以及新型加速度传感器技术等方面的研究中获得创新性成果。在传感技术日益受到高度重视的背景下，这些成果将具有广阔的应用前景。

中文关键词： SOI加速度敏感结构；高固有频率；高过载；极端量程；

英文摘要： Piezoresistive acceleration sensor is the earliest commercialized MEMS accelerometer which is with the advantages of low cost, easy integration and so on. However, the temperature drift of this sensor is large relatively, and there is a kind of weakness t

英文关键词： SOI acceleration sensitive structure；High natural frequency；high overload；Extreme range；