基于铁电栅石墨烯晶体管的柔性存储器关键材料与机理研究

项目名称： 基于铁电栅石墨烯晶体管的柔性存储器关键材料与机理研究

项目编号： No.51372130

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 谢丹

作者单位： 清华大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 随着柔性电子技术的飞速发展，柔性存储器将具有广泛的应用前景。基于有机半导体材料的场效应晶体管柔性存储器目前还面临着读写速度慢、操作电压高、保持性能差、存储容量低等问题，因此探索新材料在柔性存储中的应用具有重要的理论意义和应用价值。本项目将利用石墨烯高迁移率、透明、柔性、低成本及可实现柔性集成的特点，结合有机铁电聚合物P(VDF-TrFE)，制备基于柔性衬底的石墨烯场效应晶体管（G-FET）存储器。建立并完善铁电栅G-FET器件的理论模型，深入理解铁电极化对石墨烯载流子输运行为的影响及其对存储效应的调控作用；模拟器件结构和工艺参数，并进行优化设计；研究并优化大面积、连续的石墨烯薄膜的生长和转移工艺以及高性能的P(VDF-TrFE)薄膜的制备工艺；探索石墨烯与铁电栅的界面特性，对其微观机制进行分析；最终获得性能优良的存储器件，为石墨烯在大面积、低成本的柔性存储器中的应用提供研究思路和实现途径。

中文关键词： 石墨烯；铁电材料；场效应晶体管；存储器；柔性

英文摘要： With the rapid development of flexible electronic technology, flexible nonvolatile memory shows a broad application prospects. Flexible nonvolatile memory based on organic field-effect transistors is still facing some problems such as slow write/read spee

英文关键词： graphene；PVDF；FET；memory；flexible