硅纳米晶薄膜材料的空间粒子辐照及原子氧侵蚀研究

项目名称： 硅纳米晶薄膜材料的空间粒子辐照及原子氧侵蚀研究

项目编号： No.61176003

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 李正操

作者单位： 清华大学

项目金额： 74万元

中文摘要： 作为清洁的可再生能源，太阳能受到了国内外的广泛关注。纳米多晶硅薄膜材料，由于其原料丰富、无毒、转换效率高且价格相对低廉，成为了最具潜力的太阳能电池材料之一。而太阳能电池在外空间的应用，对纳米多晶硅薄膜在高能粒子辐照、原子氧侵蚀等空间应用环境下的行为研究提出了紧迫要求。本项目力图研究：通过调控镀膜参数，寻找合适的沉积方法，生长出表面具有纳米分立结构的，质地均匀，化程度和晶粒大小可控的硅纳米晶薄膜，并且对生长过程进行追踪观察，并利用相关理论阐释薄膜的沉积和晶化过程。掌握基于气相沉积法制备不同表面纳米结构薄膜的方法，实现对其结构参数的调控。研究所制备薄膜有关光电性能与薄膜本身组织、形貌、结构的关系，在硅纳米晶薄膜体系中建立从结构到性能的关系，从而实现通过制备条件对薄膜性能的有效调控。了解和阐明高能粒子辐照及原子氧侵蚀与对薄膜表面作用的微观机制及损伤机理，并提出可能的防护方法。

中文关键词： 硅纳米结构；粒子辐照；光吸收性能；硅薄膜；

英文摘要：

英文关键词： silicon nano structure；particle irradiation；optical absorption；silicon thin film；