微尺度下可控空化发生特性和空泡运动特性研究

项目名称： 微尺度下可控空化发生特性和空泡运动特性研究

项目编号： No.50975036

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 张会臣

作者单位： 大连海事大学

项目金额： 37万元

中文摘要： 微尺度下空化的发生对微流体系统功能的实现具有至关重要的影响。本项目采用反应刻蚀技术在硅基体上刻蚀加工微米尺度量级、具有特定结构的通道和表面几何结构，采用自组装技术和紫外照射对加工构件进行表面改性处理，制备具有特定分布的不同疏水/亲水区域特性的表面；采用表面粗糙度测试仪和原子力显微镜测试微构件的表面粗糙度，采用接触角测量仪测量不同流体在构件上的接触角，并计算表面能。组装空化特性测试实验台，通过计算机控制和图象检测研究具有节流口各种微通道流体运动的空化发生特性和不同特性表面空泡的运动特性，探索微通道的空化发生模式，阐明流体特性对空化的影响，实现空化空泡的定向运动和定点溃灭，以此构建微尺度下空化的基本理论，这一技术的实现对于空泡作为动力源的微泵等装置和用于药物传输及结石击碎等生物医学领域MEMS及其它复杂结构微流体MEMS具有重要意义。

中文关键词： 微流体；空化；表面设计；刻蚀；硅

英文摘要：

英文关键词： Microfluid；Cavitation；Surface design；Etching；Silicon