静电微机电系统的动力学与鲁棒控制研究

项目名称： 静电微机电系统的动力学与鲁棒控制研究

项目编号： No.51375016

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 何广平

作者单位： 北方工业大学

项目金额： 70万元

中文摘要： 本申请项目旨在基于约束力学的理论方法，研究静电微机电系统(MEMS) 的动力学性质，探索非完整约束静电MEMS器件的动力学优化设计和鲁棒控制的新原理、新方法及其应用。拟通过动力学分析，提出和证明静电MEMS器件中存在非完整约束的一般条件，分析非完整约束静电MEMS器件的几何相位运动特征；通过动力学综合研究，探索非完整约束静电MEMS器件动力学优化设计的新原理和鲁棒稳定控制的新方法；通过对非完整约束静电MEMS器件几何相位运动的检测和分析，研究静电MEMS器件中微尺度动力学效应的作用机理，为静电MEMS器件的动力学实验研究提供新的有效技术途径。相关研究成果对推动MEMS技术发展具有重要的学术和应用价值。

中文关键词： 微机电系统；动力学；欠驱动；非完整约束；控制

英文摘要： In this proposal, it is expected that the dynamics of electrostatic MEMS could be further developed by dynamics analysis from the point of view of constrained mechanics, and new principles, new methods and novel applications of dynamic optimal design and

英文关键词： MEMS；Dynamics；Underactuation；Nonholonomic Constraints；Control