双重振动模式压电薄膜体声波谐振器的研究

项目名称： 双重振动模式压电薄膜体声波谐振器的研究

项目编号： No.50902062

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 陈清明

作者单位： 昆明理工大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 随着无线通讯技术的发展，对高频谐振器的需求越来越大。薄膜体声波谐振器（FBAR）由于其体积小，能耗低等优点而受到越来越广泛的关注，而氮化铝等压电薄膜体声波谐振器由于其压电薄膜材料优良的相关物理和化学性能成为近年来的研究热点。本项目将采用反应磁控溅射物理气相沉积工艺进行氮化铝压电薄膜的制备,通过实验研究压电薄膜晶粒生长取向与薄膜生长条件的关系，并进行生长机理上的探讨。采用微机电系统（MEMS）技术制备在硅衬底氮化铝薄膜体声波谐振器，对体声波谐振器的高频谐振性能进行充分的分析测试。对薄膜晶粒c轴取向相对于基底具有倾斜生长角度的压电薄膜谐振器，将进行厚度伸缩和厚度剪切振动模式共存的谐振性能的研究。在机电耦合理论基础上，从Mason模型出发，取得厚度伸缩与厚度剪切双重震动模式共存的器件电阻抗模型。结合实际制备工艺和理论模型，可以设计和制备可提供多种选频需求的高频压电体声波谐振器。

中文关键词： 体声波谐振器；微机电系统；氮化铝；薄膜；

英文摘要：

英文关键词： Bulk Acoustic Wave Resonator；MEMS；Aluminum Nitride；Thin Film；