微机电系统多尺度力学问题研究与实验验证

项目名称： 微机电系统多尺度力学问题研究与实验验证

项目编号： No.11372117

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 徐旭

作者单位： 吉林大学

项目金额： 85万元

中文摘要： 微机电系统（MEMS）是当前的研究热点问题之一，但基础理论研究远落后于制造加工，是阻碍其发展的瓶颈。尺寸微小是MEMS的基本特征,材料本身的特性在微尺度下出现了跨长度、跨时间和跨层次的多尺度耦合问题。本项目针对典型的微机电系统构件- - 微梁和微板，开展富有力学特色的多尺度建模，多尺度计算、动力学控制及实验等科学问题的研究：（1）应用修正偶应力理论和Hamilton原理建立弹性微构件多尺度力学模型，研究尺度效应产生的动力学特性；（2）结合微观与宏观的计算理论，发展MEMS的多尺度计算方法；（3）研究由MEMS构件组成的复杂网络系统的宏观牵制控制；（4）搭建MEMS实验平台，实验验证理论与数值计算方法的有效性。项目致力于建立复杂系统多尺度建模与动力学控制的新理论与新方法，开辟动力系统理论的新研究方向。项目的完成对于发展具有自主知识产权的MEMS技术，推进MEMS技术在我国的实际应用具有现实意义。

中文关键词： 微型机电系统；微极弹性理论；尺度效应；多尺度计算；稳定性与分岔

英文摘要： MEMS is one of the hot research topics in the world. However, the basic theoretical research is far behind the manufacturing and processing which is a bottleneck hinder for its development. Micro-scale property is the basic characteristics of the MEMS. I

英文关键词： MEMS；Micro-polar elasticity theory；size effects；multiscale computatoins；stability and bifurcation