新型硅基MEMS兰姆波谐振器的理论和关键技术研究

项目名称： 新型硅基MEMS兰姆波谐振器的理论和关键技术研究

项目编号： No.61176106

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 庞慰

作者单位： 天津大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 项目通过深入研究硅基MEMS兰姆波谐振器基础理论，研究三项涉及增强其性能、突破其发展瓶颈以期走向实际应用的关键技术，包括：兰姆波谐振器Q值增强，寄生模式抑制以及谐振器温度补偿。课题组在研究兰姆波谐振器能量损耗机理的基础上，提出在谐振器中引入高Q值非压电材料，使谐振器的Q值突破压电材料阻尼损耗的制约；为最大限度防止谐振器通过支撑和边界区域外逸能量，本项目提出了全新的兰姆波谐振器的能量反射结构（如弧形渠）；为有效抑制甚至彻底消除寄生模式本项目提出了在谐振器工作模式振动节点处增加固定支撑的方案；为大幅提高兰姆波谐振器的温度稳定性，本课题组提出了兰姆波谐振器的温度补偿结构，使单芯片上的不同谐振频率兰姆波谐振器均具有良好的温度稳定性。本项目的MEMS兰姆波谐振器性能增强技术将直接推动下一代多频多模无线通信设备中射频滤波器和射频前端模块的发展与革新，满足通信、导航、生物传感器、国防等领域的巨大需求。

中文关键词： 兰姆波谐振器；压电谐振器；MEMS器件；性能提升；寄生模式抑制

英文摘要：

英文关键词： Lamb wave resonator；piezoelectric resonator；MEMS divice；performance improvement；spurious mode suppression