微波硅基传输线建模及行波放大器设计

项目名称： 微波硅基传输线建模及行波放大器设计

项目编号： No.60901012

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 李芹

作者单位： 东南大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 针对国内研究机构在硅基传输线的理论分析及建模方面非常薄弱的研究现状，研究采用硅基工艺设计微波传输线及单元电路，提高微波波段的电路建模理论分析及应用技术水平。运用解析法、电磁仿真手段以及测量法对CMOS工艺上微带线和共面波导的工作机制、物理特性进行详细分析，建立适用的等效模型。研究并制备30Ω12289;50ω937;、70Ω12289;100Ω29305;征阻抗的微带线和共面波导。基于二端口网络模型，研究几何尺寸及硅基工艺参数对传输线分布参数的影响，并制定相应的设计准则。在此基础上进行硅基行波放大器设计，进行流片研制和测试，验证模型建模的可靠性。

中文关键词： 硅基；微带线；共面波导；慢波；行波放大器

英文摘要：

英文关键词： silicon substrate；microstrip line；coplanar waveguide；slow-wave；distributed amplifier