基于硅周期波导微腔Fano谐振特性的片上传感单元及阵列

项目名称： 基于硅周期波导微腔Fano谐振特性的片上传感单元及阵列

项目编号： No.61405177

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 喻平

作者单位： 浙江大学宁波理工学院

项目金额： 25万元

中文摘要： 传统干涉型或微腔谐振型折射率传感器在尺寸、待测物耗量、灵敏度和多通道复用等方面受到限制，因此需要利用新的物理机制来设计新型传感器件。本项目设计一种狭缝周期波导微腔和Fabry-Perot波导腔的侧向耦合结构，利用其产生的Fano谐振效应构建高灵敏度片上传感单元。狭缝周期波导微腔兼备尺寸小(<10μm)、模式体积低(V～10^-2 (λ/2n)^3)和品质因子高(Q>10^5)的优点，可有效地增强检测光与待测物相互作用；Fano谐振产生的非对称谱线具有比余弦谱或洛仑兹谱线型更陡峭的斜率和更高的消光比，则能进一步提高检测灵敏度。本项目拟开展该耦合结构及其传感特性的深入研究，阐明待测物特性对耦合结构谐振特性的影响规律，探索针对Fano谐振谱特征的器件设计和检测方法，并基于SOI平台制作传感单元和阵列以实现多通道复用传感。本项目的完成将为新型片上传感单元的设计提供一种新思路和器件物理基础。

中文关键词： 波导微腔；光子晶体；传感器；周期波导；

英文摘要： Conventional photonic sensors which rely on interference or resonance are limited by their size, sensitivity and multiplexing ability. It's therefore new physical mechanisms are very desirable and promising for designing high-sensitivity sensor. This proj

英文关键词： Waveguide Cavities；Photonic Crystals；sensor；Periodic Waveguides；