项目名称: 基于二维伺服控制的扫描探针三维测量方法研究

项目编号: No.61304251

项目类型: 青年科学基金项目

立项/批准年度: 2014

项目学科: 自动化技术、计算机技术

项目作者: 于鹏

作者单位: 中国科学院沈阳自动化研究所

项目金额: 24万元

中文摘要: 微纳米制造技术的飞速发展,有力促进了IC、MEMS、NEMS、超精密加工等重要前沿技术领域的发展,但微纳米尺度的高分辨率三维形态测量仍然是一个亟待解决的难题。本项目以微纳米尺度结构的三维形态测量需求为背景,开展基于二维伺服控制的扫描探针三维测量方法研究。本项申请以扫描探针成像机理为基础,研究基于相位差原理的探针双向驱动与激励方法,二维力反馈伺服控制方法,二维扫描信号的高分辨率提取方法,基于法向探测的扫描姿态控制与路径规划方法,纳米尺度三维形貌表征及重建方法,在实验平台上实现纳米尺度形态(沟槽尺寸、侧壁状态)的三维测量与表征,为微纳米制造技术的发展提供有意义的测量技术。

中文关键词: 扫描探针;三维测量;纳米结构;关键尺寸;

英文摘要: The rapid development of micro/nano manufacturing technology has contributed a lot for the developments of some advanced technologies, such as IC, NEMS, NEMS and Ultra-Precision Manufacturing. But now, the 3D nano metrology is still a difficult problem. This project studies the 3D nano metrology based on the 2D servo control of the scanning probe for the demand of 3D metrology of nano structures. This project studies the bi-directional driving and excitation method based on the phase difference theory, the 2D force feedback servo control method, the high-precision identification method of 2D scanning signals, the scanning attitude motion control and path planning methods based on normal vector probing, the method of 3D surface topography characterization and image reconstruction. This metrology method will be verified in an independently developed scanning probe microscope through the experiments of 3D metrology and characterization for nano trench structures. The research findings will provide a meaningful metrology method for the micro and nano manufacturing technology.

英文关键词: Scanning Probe;Three Dimension Metrology;Nano Structure;Critical Dimension;

成为VIP会员查看完整内容
0

相关内容

专知会员服务
36+阅读 · 2021年4月23日
专知会员服务
55+阅读 · 2021年4月4日
专知会员服务
31+阅读 · 2021年2月17日
专知会员服务
132+阅读 · 2021年2月17日
专知会员服务
41+阅读 · 2021年2月8日
基于视觉的三维重建关键技术研究综述
专知会员服务
160+阅读 · 2020年5月1日
【CVPR2020】MSG-GAN:用于稳定图像合成的多尺度梯度GAN
专知会员服务
27+阅读 · 2020年4月6日
自动化所团队提出视触觉传感技术新路线!让机器人拥有更敏锐触觉
中国科学院自动化研究所
3+阅读 · 2021年9月10日
CT影像肺结节分割研究进展
专知
4+阅读 · 2021年4月23日
自动驾驶高精度定位如何在复杂环境进行
智能交通技术
18+阅读 · 2019年9月27日
自动驾驶车载激光雷达技术现状分析
智能交通技术
17+阅读 · 2019年4月9日
【泡泡前沿追踪】跟踪SLAM前沿动态系列之IROS2018
泡泡机器人SLAM
29+阅读 · 2018年10月28日
目标跟踪算法分类
算法与数据结构
20+阅读 · 2018年9月28日
基于几何特征的激光雷达地面点云分割
泡泡机器人SLAM
15+阅读 · 2018年4月1日
李克强:智能车辆运动控制研究综述
厚势
20+阅读 · 2017年10月17日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
2+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
2+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2008年12月31日
Arxiv
0+阅读 · 2022年4月20日
Arxiv
1+阅读 · 2022年4月19日
Directional Graph Networks
Arxiv
27+阅读 · 2020年12月10日
小贴士
相关VIP内容
专知会员服务
36+阅读 · 2021年4月23日
专知会员服务
55+阅读 · 2021年4月4日
专知会员服务
31+阅读 · 2021年2月17日
专知会员服务
132+阅读 · 2021年2月17日
专知会员服务
41+阅读 · 2021年2月8日
基于视觉的三维重建关键技术研究综述
专知会员服务
160+阅读 · 2020年5月1日
【CVPR2020】MSG-GAN:用于稳定图像合成的多尺度梯度GAN
专知会员服务
27+阅读 · 2020年4月6日
相关资讯
自动化所团队提出视触觉传感技术新路线!让机器人拥有更敏锐触觉
中国科学院自动化研究所
3+阅读 · 2021年9月10日
CT影像肺结节分割研究进展
专知
4+阅读 · 2021年4月23日
自动驾驶高精度定位如何在复杂环境进行
智能交通技术
18+阅读 · 2019年9月27日
自动驾驶车载激光雷达技术现状分析
智能交通技术
17+阅读 · 2019年4月9日
【泡泡前沿追踪】跟踪SLAM前沿动态系列之IROS2018
泡泡机器人SLAM
29+阅读 · 2018年10月28日
目标跟踪算法分类
算法与数据结构
20+阅读 · 2018年9月28日
基于几何特征的激光雷达地面点云分割
泡泡机器人SLAM
15+阅读 · 2018年4月1日
李克强:智能车辆运动控制研究综述
厚势
20+阅读 · 2017年10月17日
相关基金
国家自然科学基金
0+阅读 · 2015年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
2+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
1+阅读 · 2014年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2012年12月31日
国家自然科学基金
2+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2009年12月31日
国家自然科学基金
0+阅读 · 2008年12月31日
微信扫码咨询专知VIP会员