基于压电驱动的多自由度微操作器精密定位及振动抑振一体化控制理论与方法研究

项目名称： 基于压电驱动的多自由度微操作器精密定位及振动抑振一体化控制理论与方法研究

项目编号： No.51375433

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 魏燕定

作者单位： 浙江大学

项目金额： 78万元

中文摘要： 在当前微纳米技术大力发展的环境下，本项目以微机电系统领域的微小零件装配和生物医学领域的细胞操作等微操作技术为工程应用背景，以一类典型的由基于压电驱动器和柔性铰链的高精度多自由度微动平台和压电双晶片微夹持器组成的微操作器为研究对象，通过研究压电驱动器的驱动机理、迟滞非线性建模技术和多自由度微操作器的刚柔耦合的非线性建模理论，完善多自由度微操作器的驱动机理和操控理论；研究多自由度微操作器的传感检测技术以及传感器/驱动器优化布局理论；引入压电材料在柔性结构中的振动主动控制理论，探究多自由度微操作器在宏/微运动驱动下微夹持器末端的精密定位及运动过程中的振动抑制问题，提出多自由度微操作器在宏微平台驱动中的精密定位驱动与振动抑振一体化控制策略并对其关键技术理论展开研究，为多自由度微操作器的高精密定位驱动技术和控制技术提供相关的理论基础和有益的探索，达到提高多自由度微操作器的控制精度和操作效率的目的。

中文关键词： 微操作器；压电致动器；迟滞非线性；精密控制；复合控制

英文摘要： Micro/nano technology has been widely developed these years, Under the application background of micro-electromechanical assembly and cell manipulation and operation etc, a typical multi-DOF micromanipulator is taken as our study object, which consists of

英文关键词： Micromanipulator；piezoelectric actuator；hysteresis nonlinearity；precision control；hybrid control