基于全柔顺并联支撑机构的空间微纳尺度超精密定位系统研究

项目名称： 基于全柔顺并联支撑机构的空间微纳尺度超精密定位系统研究

项目编号： No.51165009

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 朱大昌

作者单位： 江西理工大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 超精密定位技术广泛应用于微电子制造、精密加工及测量、微机电系统、生物医学工程等尖端领域，是先进制造领域重要研究方向之一。建立完整的超精密定位系统动力学模型、抑制强非线性振动及环境参数等随机干扰是目前亟待解决的技术难题。本项目拟采用新型全柔顺并联支撑机构，基于螺旋理论及空间拓扑优化设计方法，对支撑机构空间构型进行综合与参数优化设计；采用多柔体弹性动力学理论，建立空间超精密定位系统弹性振动微分运动方程，探寻具有非线性时滞耦合特性的微分运动学/动力学方程求解方法，解决微纳尺度超精密定位过程中强非线性振动抑制问题；采用非线性分岔精密控制理论，研究多柔体复杂系统动力学特性，探讨微纳尺度定位过程中强随机性干扰对精密控制系统稳定性和鲁棒性的影响；研制微纳尺度空间超精密定位平台缩尺模型，完成试验研究。这一工作拓宽柔顺、并联机构研究范畴，对空间微纳尺度超精密定位技术的动力学研究具有较高的理论和实际应用价值。

中文关键词： 全柔顺并联机构；智能蠕动弹性机构；构型综合；精密控制；

英文摘要：

英文关键词： fully compliant parallel manipulator；intelligent peristaltic-elastic mechanism；configuration synthesis；precision control；