基于多普勒频移调谐的斐索型同步移相干涉测试技术研究

项目名称： 基于多普勒频移调谐的斐索型同步移相干涉测试技术研究

项目编号： No.61405092

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 郭仁慧

作者单位： 南京理工大学

项目金额： 26万元

中文摘要： 大口径光学元件在国民经济诸多领域应用广泛，其面形的干涉检测常需在长干涉腔长下进行，目前已有的干涉结构均不能满足大口径平面光学元件在长干涉腔长下的测试需求。为此，本项目提出一种基于多普勒频移调谐的新型斐索型同步移相干涉测试方法，该方法采用高速旋转径向光栅同时实现分光和移相功能，并在瞬间同时采集三幅同步移相干涉图。其特点是无需偏振调制，元件少，简化了系统结构，能够实现大口径光学元件在长腔长下的测量。项目研究提出的同步移相干涉测试方法的测试理论以及光栅分光和频移特性、光栅刻制方法、光栅高速旋转控制方式等关键技术。研究基于时域傅里叶变换的移相量标定方法，实现在不同干涉腔长下测量时移相量的标定。研究基于相位相关的亚像素级位置和形状配准技术，实现干涉图间空间位置的配准和畸变的校正。该项目的研究探索了一种新型同步移相干涉测试技术，为解决我国急需的长腔长下大口径光学元件的动态检测问题提供技术基础。

中文关键词： 同步移相干涉；干涉图配准；长干涉腔长；；

英文摘要： The optical elements with large aperture have found wide applications in many fields of national economy. The interferometric measurements of large optical elements have to be performed at large cavity lengths in some applications. The existed interferome

英文关键词： simultaneous phase-shifting interferometry；interferograms registration；long interferometric cavity length；；