Data augmentation has been widely used in low-resource NER tasks to tackle the problem of data sparsity. However, previous data augmentation methods have the disadvantages of disrupted syntactic structures, token-label mismatch, and requirement for external knowledge or manual effort. To address these issues, we propose Robust Prompt-based Data Augmentation (RoPDA) for low-resource NER. Based on pre-trained language models (PLMs) with continuous prompt, RoPDA performs entity augmentation and context augmentation through five fundamental augmentation operations to generate label-flipping and label-preserving examples. To optimize the utilization of the augmented samples, we present two techniques: Self-Consistency Filtering and mixup. The former effectively eliminates low-quality samples, while the latter prevents performance degradation arising from the direct utilization of label-flipping samples. Extensive experiments on three benchmarks from different domains demonstrate that RoPDA significantly improves upon strong baselines, and also outperforms state-of-the-art semi-supervised learning methods when unlabeled data is included.


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