超精密形状误差测量中的误差分离技术研究

项目名称： 超精密形状误差测量中的误差分离技术研究

项目编号： No.50905116

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 陈欣

作者单位： 上海交通大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 随着超精密加工技术的发展，形状及形状误差测量的要求精度越来越高，导致通用的测量仪器所能提供的硬基准的精度不能超过测量要求精度的情况越来越多。在此背景下产生了误差分离技术，用某一特定的测量系统和相应的软件的组合去分离硬基准固有的误差，以此来提供一个比硬基准精度更高的虚拟软基准。本研究将对主要的误差分离技术（三面互检法、自校正法和多探头法）中尚未解决的课题，如二维定位误差的自校正、利用多探头法的平面度测量、不确定性分析等进行研究。在这些误差分离技术的理论得到完善的同时，对他们之间的同源性进行分析，通过理论的体系化使应用者在实用化时有一个明确的指针。本研究对需要最高精度等级的国家标准的测量工作具有重要意义。并且可以被广泛地运用在对机床等加工机械进行数值补偿为目的的校正服务等领域。

中文关键词： 误差分离技术；形状测量；自校正；多探头法；不确定度

英文摘要：

英文关键词： error separate technology；profile measurement；self-calibration；multi-point method；uncertainty