复杂曲面微结构的投影式激光振镜扫描刻蚀新原理、新方法

项目名称： 复杂曲面微结构的投影式激光振镜扫描刻蚀新原理、新方法

项目编号： No.51135005

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 曾晓雁

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 290万元

中文摘要： 在全球化竞争的背景下，航空航天、能源、微电子等领域高、精、尖复杂产品的生产向现代制造工艺和装备的极限能效不断提出新的挑战，如何在硬质合金、陶瓷、复合多层膜等难加工材质的复杂曲面零部件表面高精度、高效率地制造大幅面微结构就是其中之一。本项目在大量前期研究工作的基础上，在国内外首次提出了投影式激光振镜扫描刻蚀（LPAGS）加工复杂曲面微结构的新原理、新方法。采用自主研发的3坐标刻蚀加工头与多轴联动数控机床构建"5+3"轴和"3+3"轴LPAGS组合加工平台，通过系统研究光束投影映射原理、复杂曲面非规则分区规划、加工能效与工艺-装备之间的映射关系、以及不同波长、重复频率、脉宽激光束制造复杂曲面微结构的高精度生成演变规律等相关内容，掌握LPAGS新工艺的基础理论与核心关键技术，为使该工艺成为高精度、高效率、高质量、跨尺度制造复杂曲面微结构的新工艺、新装备奠定理论基础。

中文关键词： 投影式；激光刻蚀；复杂曲面；微结构；振镜扫描

英文摘要：

英文关键词： Projective；Laser ablation；Complex surface；Microstructure；Galvanometer