高Q值低功耗小型化硅基60GHz无源器件模型研究

项目名称： 高Q值低功耗小型化硅基60GHz无源器件模型研究

项目编号： No.60901024

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 周亮

作者单位： 上海交通大学

项目金额： 20万元

中文摘要： 高Q值、低功耗小型化硅基无源器件是毫米波段60GHz民用无线局域通信系统发展的瓶颈之一。本课题拟针对90纳米和65纳米CMOS工艺下60GHz频段无源器件的三维模型建立、数值优化分析和实验比较测量等方面进行深入研究。具体包括（1）60GHz频段具有不同形状的硅基三维单层、多层无源器件的电磁-热一体化等效电路模型建立、数值分析、分布参数提取；（2）硅基无源器件中超宽频段导体损耗和衬底涡流损耗的电磁场快速数值分析；（3）小型化硅基无源器件的高品质因素(Q)、高自谐振频率和低功耗等关键性能参数的数值优化实现方法和设计准则；(4）60GHz波段硅基无源器件的性能参数实验测量和模型比较研究。本课题的研究将直接满足90纳米和65纳米先进CMOS工艺下低成本民用60GHz无线通信系统中高性能、低功耗和小型化无源器件应用新要求，为硅基毫米波段集成器件与电路的发展提供理论方法基础和专门关键技术。

中文关键词： 硅基毫米波；品质因素；低功耗；小型化；无源器件

英文摘要：

英文关键词： Silicon based milimeter wave；Q factor；low power consumption；miniature；passive components