基于波长/角度复用的数字全息显微干涉测量技术研究

项目名称： 基于波长/角度复用的数字全息显微干涉测量技术研究

项目编号： No.61405164

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 邸江磊

作者单位： 西北工业大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 数字全息显微干涉测量技术具有实时、全场、非接触、无损、可实现三维测量等诸多优点，可替代传统技术用于MEMS等各种微小结构样品的实时可视化测量，获得微器件表面结构和系统参数信息。但当MEMS表面存在高度大于半个波长的台阶时，用该方法数值重建得到的原始物光波场相位分布将由于某些特殊点的包裹跃变而产生误差，获得错误的相位测量结果。为解决这一问题，并同时实现MEMS的大景深和高精度测量，本项目在数字全息干涉技术和显微技术基础上，通过引入波长/角度复用技术，对系统的光路结构进行特殊设计和优化，结合全息图数值重建过程的多波长融合算法和相位测量精度提高方法，研究建立一套先进的基于波长/角度复用的数字全息显微干涉测量系统，以期在MEMS器件检测过程中扩展测量景深范围和提高测量精度，为MEMS检测提供一种可靠的表征手段和评价方法。

中文关键词： 数字全息显微术；数字全息干涉术；波长复用；角度复用；相位测量

英文摘要： Digital holographic microscopy allows fast, nondestructive, full-field and 3D measurement for reflecting samples and it can be used in the visualization of micro-size samples such as MEMS, instead of traditional tools, to get the samples’ surface structur

英文关键词： Digital hologrpahic microscopy；digital holographic interferometry；wavelength multiplexing；angle multiplexing；phase measurement