C-MEMS制备硅基超级电容器三维微电极阵列关键问题研究

项目名称： C-MEMS制备硅基超级电容器三维微电极阵列关键问题研究

项目编号： No.61674113

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2016

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李刚

作者单位： 太原理工大学

项目金额： 16万元

中文摘要： 针对无线传感网络节点对储能单元的要求，本项目拟从C-MEMS制备硅基超级电容器三维微电极出发，通过建立三维微电极阵列的电场有限元模型，确定最佳三维微电极阵列结构参数；建立应力演变模型，确定最佳斜光刻条件制备高深宽比三维微结构阵列；探究碳化过程中孔隙产生机理和孔径分布规律，确定最佳碳化条件制备三维微电极；探究掺杂和活化对孔径的调控机理，确定最佳掺杂和活化条件增加微电极有效比表面积，最终实现高性能MEMS超级电容器。

中文关键词： SU-8光刻胶；MEMS超级电容器；KOH活化；柠檬酸镁掺杂；孔径调控

英文摘要： For the energy storage requirement of WSN, the aim of this project is to fabricate three-dimensional microelectrodes with C-MEMS technology and study the critical issues during fabricating processes for MEMS supercapacitors. Firstly, we will establish a f

英文关键词： SU-8 photoresist；MEMS supercapacitor；KOH activation；magnesium citrate doping；Pore control