微纳结构雕塑薄膜的可控生长研究及其特性分析

项目名称： 微纳结构雕塑薄膜的可控生长研究及其特性分析

项目编号： No.60977042

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 江绍基

作者单位： 中山大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 采用大角度电子束蒸发倾斜沉积的方法并辅以基片运动可以得到各向异性的雕塑薄膜，其多孔且形貌多样可控的结构特点使其具有很多普通光学薄膜所没有的光学特性，因而可广泛应用于微纳器件领域。 本课题组将在已有的基础上搭建实验平台镀制各种形貌的雕塑薄膜，并结合计算机建立雕塑薄膜生长的动力学蒙特卡罗三维模型，通过改变各参数如基底温度、沉积速率、基底运转速率等研究雕塑薄膜纳米尺度范围内的结构特性以实现其量化可控，并利用雕塑薄膜的制备技术实现三维光子晶体高效快捷的可控制备。目前，本研究小组通过实验与计算机仿真得到了部分形貌的雕塑薄膜，并研究了其光学特性如双折射、旋光性等。 本小组结合实验与计算机技术全面探讨雕塑薄膜的生长机理、结构特性以及光学特性等，并针对性地研究本课题组提出的复合雕塑薄膜新颖的光学特性，使雕塑薄膜在光电子学、光通信等领域得以实际应用，为微纳光器件的制备提供有效的方法。

中文关键词： 雕塑薄膜；倾斜沉积法；动力学蒙特卡罗模拟；光学特性；

英文摘要：

英文关键词： Sculptured thin films；Glancing angle deposition；Kinetic Monte Carlo simulation；Optical characteristic；