硅基声波导的高分辨率局域化生物传感方法与器件

项目名称： 硅基声波导的高分辨率局域化生物传感方法与器件

项目编号： No.60971025

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 吴一辉

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 35万元

中文摘要： 压电薄膜声波质量传感器具有体积小、灵敏度高科集成制造等优点，但其较高的机械、电磁损耗以及液相探测性能表达等问题，造成其检测分辨率低、一致性差。本申请拟采用storh方程与表面阻抗矩阵研究获得薄膜声波导频散特性的半解析解，并据此研究其模式场分布和粘弹性液体边界下的模式重构，揭示声波生物传感器中声波导性能与被测生物媒介间的相互作用关系，建立可确切描述薄膜声波导声波传感器输出响应与被测物参数间的物理模型，提高检测的特异性、准确性。在此基础上探讨在薄膜声波导中引入声子晶体点缺陷模式的结构和制作方法，研究被测液体对该局域化模式的调制作用和稳定存在的条件，提高声波与边界的隔离度，降低器件的工作频率，获得高Q值和局域化探测，为实现声波生物传感的高分辨率、低消耗、阵列化探测提供新途径、新方法，满足生物传感高通量、低检出限以及现场探测等需求，促进声子晶体相关理论和制作工艺技术的发展和应用。

中文关键词： Lamb波传感器；多模式解耦探测；高Q声子晶体；各向异性调控；慢波效应

英文摘要：

英文关键词： Lamb wave sensor；multimode decoupling detection；high Q phononic crystals；anisotropy tuning；slow wave effect