激光差动共焦干涉元件多参数综合测量仪器研制

项目名称： 激光差动共焦干涉元件多参数综合测量仪器研制

项目编号： No.61327010

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 邱丽荣

作者单位： 北京理工大学

项目金额： 300万元

中文摘要： 球面元件参数测试技术涉及光学工程、惯性仪表、精密制造、计量测试等领域的前沿基础研究。针对球面参数高精度测试问题，项目组前期在国际上率先提出了融合差动共焦探测及光线追迹技术的激光差动共焦层析定焦新原理，发明了基于该原理的元件曲率半径、厚度、折射率、镜组间隔等参数测试新方法。本项目拟重点研究基于上述发明方法与技术的元件参数高精度综合测量的仪器化技术，研制出具有自主知识产权的激光差动共焦干涉元件多参数综合测量新原理仪器，以期解决光学元件曲率半径、厚度、折射率、面形以及镜组间隔等参数高精度非接触测量难题，促进光学工程、精密制造和计量测试等领域前沿基础研究的发展。研究包括：改善仪器层析定焦能力及精度的基础理论与技术、仪器关键技术和系统集成技术，仪器的总体实验、特性分析、溯源方法与比对测试等。主要指标：透镜曲率半径、厚度相对测量不确定度分别为5ppm和30ppm，元件折射率测量不确定度2×10e-4等

中文关键词： 差动共焦；共焦干涉；定焦；多参数测量；球面元件

英文摘要： The measurement technique for the spherical elements is used for the advanced foundation researchs of such fields as optical engineering, inertial instrument, precision fabrication, metrological measurement, and so on. In order to satisfy the reqiuirement

英文关键词： differential confocal；confocal interference；focus positioning；multi-parameter test；spherical element