超分辨差动共焦显微镜的研制

项目名称： 超分辨差动共焦显微镜的研制

项目编号： No.60927012

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 赵维谦

作者单位： 北京理工大学

项目金额： 120万元

中文摘要： 当今科技发展的实践表明高空间分辨的共焦显微技术是生物医学、微纳制造、半导体和材料工程等领域亟待解决的一项关键共性技术，属光学显微成像领域的重点研究内容。本项目前期研究提出的超分辨差动共焦显微成像技术,其利用轴向"远焦"和"近焦"放置的双共焦探测系统差动探测，改善其轴向分辨特性，利用超分辨光瞳滤波及图像复原技术改善其横向分辨特性,继而达到显著改善其空间分辨能力、抗干扰能力和层析能力的目的。本次申请项目拟重点解决利用超分辨差动共焦显微成像技术实现高空间分辨、高层析能力的成像测试及其仪器化的相关技术，其目标是研制出具有自主知识产权的超分辨差动共焦显微镜,为微纳制造、半导体测试、材料工程和生物医学等领域提供高性能的测试仪器。研究内容包括：改善仪器分辨能力及精度的相关基础理论,仪器核心技术和系统集成技术,仪器的总体实验、特性分析与比对实验等。仪器主要指标：轴向和横向分辨力分别优于1nm和80nm等。

中文关键词： 显微镜；差动共焦；超分辨；图像复原；光瞳滤波

英文摘要：

英文关键词： Microscope；differential confocal；superresolution；image restoration；pupil filtering