基于弛豫铁电单晶的温补型声表面波特性和损耗机理研究

项目名称： 基于弛豫铁电单晶的温补型声表面波特性和损耗机理研究

项目编号： No.11404209

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 陈景

作者单位： 上海交通大学

项目金额： 30万元

中文摘要： 新型弛豫铁电单晶的SAW具有超高的机电耦合系数，这是实现超宽带SAW滤波器的必要条件，但是，谐振器工作频率附近存在寄生峰干扰，品质因数和温度稳定性也亟待提高。基于此，本项目围绕该单晶开展温补型SAW传播特性和损耗机理研究。首先通过理论计算SAW传播特性与单晶组份，极化方向和切型的关系，研究缺陷、铁电畴、相变和掺杂等对SAW性能的影响，以指导基片的优化处理；然后，优化设计温补型谐振器，减小器件结构损耗，优选电极种类和厚度，减小“漏波”损耗，并抑制体波散射和杂波，设计温补层结构和优化制备工艺，抑制导波干扰，并减小粘滞吸收和散射损耗；最后，理论分析超宽带、低损耗和温度稳定性良好的滤波器工作原理，并制备出原型器件。通过本项目的实施，精确分析该单晶温补结构中SAW传播特性，揭示损耗的物理机制并尽量降低损耗，初步建立起SAW器件制备的工艺流程，为通信体射频前端可调滤波器的研究奠定基础。

中文关键词： 弛豫铁电单晶；声表面波谐振器；超宽带声表面波滤波器；高机电耦合系数；

英文摘要： The propagating characteristics of surface acoustic wave (SAW) on novel relaxor based ferroelectric single crystals obtain ultra-high electromechanical coupling factors, however, there are some drawbacks, such as large propagation loss and poor temperatur

英文关键词： relaxor ferroelectric single crystals；Surface Acoustic Wave Resonator；Ultra-wide band Surface Acoustic Wave filter；Large coupling factor；