基于扩散理论对金属薄膜生长反常效应的研究

项目名称： 基于扩散理论对金属薄膜生长反常效应的研究

项目编号： No.11164012

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 郑小平

作者单位： 兰州城市学院

项目金额： 50万元

中文摘要： 在金属薄膜生长过程中引入少量的表面活性剂，薄膜生长会表现出与没有表面活化剂时完全相反的特征。对于这种反常效应，传统的DLA模型不能解释其微观机理，虽然近年来提出的RLA模型对反常效应给出了比较满意的解释，但是两个模型的微观机理完全不同，揭示的规律正好相反。前者基于扩散理论；而后者基于交换作用。通过前期研究交换作用的微观过程，本项目认为：DLA模型不能解释反常效应的根源不在于扩散理论本身，而是基于扩散理论建立的DLA模型不够完善，例如，给随机过程赋予许多"确定性"假设。同时，RLA 模型作为一种唯象模型存在一些明显的不足。本项目以扩散理论为基础，吸收RLA理论的合理成份，结合实验结果，建立新的模型，模型中首次考虑许多新的微观机理，并利用新模型，通过KINETIC MONTE CARLO 方法对反常效应的微观机理进行比较深入的分析研究，探索控制发生反常效应的成膜条件。

中文关键词： 薄膜；反常效应；扩散；交换；KMC

英文摘要：

英文关键词： thin-film；abnomal effect；diffusion；exchange；KMC;