基于热光效应的微机械非致冷光学读出红外成像阵列研究

项目名称： 基于热光效应的微机械非致冷光学读出红外成像阵列研究

项目编号： No.61172151

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 电子学与信息系统

项目作者： 冯飞

作者单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

项目金额： 62万元

中文摘要： 红外成像技术在军事、民用领域应用十分广泛，面对西方国家的禁运、限运政策，自主研发高性价比的红外成像器件显得十分急切。本项目提出研制一种基于热光效应的微机械非致冷光学读出红外成像阵列（TO-MEMS-ORUIRIA），它基于热光材料折射率的变化对读出光反射光强进行调制而实现红外探测，勿需致冷和读出电路；无可动部件，震动噪声小；光学系统易小型化。热导和红外辐射利用率是影响器件性能的重要因素，本项目通过特殊的隔热柱结构设计，使其高度达几十微米，有效降低了器件热导；通过在多层介质膜中设计专门的红外吸收层和去除像素正下方硅衬底，显著提高了器件在8-14μm波段的红外辐射利用率。研究内容主要包括：TO-MEMS-ORUIRIA红外成像机理、优化设计及制作技术研究；制备TO-MEMS-ORUIRIA并进行性能测试。项目的开展将突破TO-MEMS-ORUIRIA在设计和制作等方面的关键基础技术。

中文关键词： 红外成像；热光效应；微机械；光学读出；

英文摘要：

英文关键词： Infrared imaging；Thermo-optic effect；MEMS；Optical readout；