螺旋波等离子体特性及与材料相互作用基础研究

项目名称： 螺旋波等离子体特性及与材料相互作用基础研究

项目编号： No.11175126

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 物理学II

项目作者： 吴雪梅

作者单位： 苏州大学

项目金额： 76万元

中文摘要： 等离子体与材料表面的复杂相互作用，可同时改变两者的状态而直接影响等离子体的应用，并成为等离子体科学技术领域的研究热点。本项目选用具有明确应用目标的高密度螺旋波等离子体(HWP)放电，本着等离子体产生、等离子体在线诊断，材料表面表征相结合的原则，研究HWP产生机理、约束方法及与材料（半导体材料、Tokamak壁材料）表面相互作用；分别采用探针、光谱、质谱等实验诊断手段，通过不同天线形状、不同磁场、不同电源的频率及功率的调节，研究对等离子体参数（等离子体密度、电子温度等）、化学活性粒子种类、以及入射到材料表面上离子能量和角度分布的影响；探求等离子体基元的种类、分布与材料表面相互作用过程、结构和性质的关联；建立螺旋波等离子体与材料表面相互作用的物理模型。揭示等离子体与材料表面相互作用的机理和规律，为具有自主知识产权的HWP半导体刻蚀设备的优化和HWP壁处理工艺的参数优化提供有价值的科学依据。

中文关键词： 螺旋波等离子体；等离子体诊断；等离子体与材料表面相互作用；微纳材料；等离子体表面处理

英文摘要：

英文关键词： helicon wave plasma (HWP)；plasma diagnostics；plasma-material/surface interaction；Pmicro/nano materials；plasma surface processing