Graphene场效应晶体管及其集成技术研究

项目名称： Graphene场效应晶体管及其集成技术研究

项目编号： No.61136005

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 金智

作者单位： 中国科学院微电子研究所

项目金额： 290万元

中文摘要： Graphene是一种二维晶体材料，其载流子是具有极高迁移率的狄拉克费米子，是有希望延展摩尔定律的高迁移率材料。针对graphene材料在场效应器件和集成技术应用中存在的问题，充分发挥graphene优良的材料特性与硅集成电路技术相融合的特点，开展晶圆级graphene材料生长、graphene场效应晶体管及其集成技术的研究。通过对晶圆级graphene材料成核、自重构机理与生长机制以及二维graphene晶体中狄拉克-费米子的输运机理和行为规律等科学问题的深入研究，从微电子学角度多层次、综合性地解决科学问题和技术瓶颈，取得一批自主知识产权和前沿性成果，研制出4英寸晶圆级graphene材料、截止频率大于100 GHz的graphene场效应晶体管，实现graphene场效应器件的集成演示验证，推动graphene材料的研究、应用和发展。发表SCI论文30篇、申请专利20项。

中文关键词： 石墨烯；场效应晶体管；化学气相沉积；点缺陷；

英文摘要：

英文关键词： graphene；FET；CVD；point defect；