横截面形状效应对亚5nm(宽度)纳米线和碳纳米管器件的影响

项目名称： 横截面形状效应对亚5nm(宽度)纳米线和碳纳米管器件的影响

项目编号： No.61404094

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 王豪

作者单位： 武汉大学

项目金额： 24万元

中文摘要： 工艺流程的限制使纳米线、碳纳米管器件的横截面偏离理想的形状（方形、圆形），文献报道中观察到了矩形、椭圆形、梯形、三角形等多种形状，这些非理想的横截面的形状和尺寸对器件特性有何种影响，及这种影响有多大，是值得探究的问题。本项目基于数值模拟方法，针对横截面等效宽度小于5 nm的情况，对该效应进行研究。 在纳米线器件的模拟中，首先基于原子轨道紧束缚法，研究纳米线横截面的形状和尺寸对能带结构的影响，然后提取横截面形状相关的有效质量，采用有限差分法实现不同形状的横截面，基于三维量子输运方法进行器件特性模拟。在碳纳米管器件模拟中，基于pz轨道紧束缚法，考虑不同横截面的泊松电势，实现对器件的量子模拟。 本项目源于真实工艺现象，运用数值方法，揭示截面形状尺寸与器件特性的关系，具有重要的现实意义和应用价值。

中文关键词： 横截面形状效应；纳米线器件；能带结构；；

英文摘要： Due to the limitation of fabrication process, the fabricated cross-sectional shape of nanowire transistor and carbon nanotube transistor is common to deviate from its ideal (square, circular) shape. Non-idea cross-sectional shapes including rectangular, e

英文关键词： Cross-sectional shape effect；nanowire transistor；band structure；；