基于氧化锌薄膜晶体管的紫外图像传感器像素研究

项目名称： 基于氧化锌薄膜晶体管的紫外图像传感器像素研究

项目编号： No.60976041

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 张盛东

作者单位： 北京大学

项目金额： 35万元

中文摘要： 提出一种用金属氧化物半导体薄膜材料和器件实现单片集成紫外图像传感器的构想并首先对像素部分展开研究。像素单元的构想为：利用ZnO薄膜同时具有优良的光学性能和电学性能的特点，将光信号探测、转换、读取直至放大和驱动全部由ZnO系薄膜器件来完成。像素的光电转换（光探测）采用三端型器件（ZnO系薄膜晶体管）取代传统的二端型元件（光敏电阻、肖特基结或p－n结等）。这一新的探测方式使得探测灵敏度显著提高的同时，还使光电转换特性能表现出多样性，即可通过改变栅偏压获得不同区间的灵敏度特性、响应特性、动态范围特性以及噪声特性等。此外，在每一像素中形成光探测ZnO－TFT的同时，也在位形成由ZnO－TFT构成的有源电路，对来自光探测TFT的信号直接进行读取和放大。尽管像素的概念和结构是全新的，但实现的手段仍是传统的工艺技术。因此，本研究为低成本的高灵敏度和高分辨率单片集成紫外图像传感器的实现提供了一个新的途径

中文关键词： MZO/IMO；反应溅射；薄膜晶体管；金属氧化物；紫外探测

英文摘要：

英文关键词： MZO/IMO；Reactive sputter；thin film transistor；metal oxide；UV detecting