快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究

项目名称： 快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究

项目编号： No.51375470

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 殷伯华

作者单位： 中国科学院电工研究所

项目金额： 80万元

中文摘要： 以快速大范围原子力显微镜为研究背景，建立柔性铰链位移台的静态及动态模型，分析快速大范围柔性铰链位移台自激振荡和XYZ轴间耦合振动规律，探索适合快速大范围运动的柔性铰链最优设计方法及关键参数分布。建立快速运动状态下柔性铰链位移台多轴耦合振动的主动补偿和抑制控制算法模型。明确高速运动状态柔性铰链位移台的最优驱动信号，并提出消除柔性铰链位移台自激振荡的控制策略。本研究旨在解决制约柔性铰链位移台实现快速运动的若干关键科学问题。因此本项目对丰富完善柔性铰链研究相关的控制理论，新型柔性铰链位移台的设计方法具有一定意义。为获得基于柔性铰链结构的AFM快速大范围扫描器设计方法提供理论规律和实验依据。本项目研究的理论及专利成果将对提高我国在微纳测量与微纳操控方面的先进科学仪器研制水平起到促进作用。

中文关键词： 柔性铰链；快速扫描；耦合振动；动态模型；原子力显微镜

英文摘要： Based on large range fast atomic force microscope application research, establish the static and dynamics modeling of flexure. Analyze the coupled vibration and Self-excited oscillation of flexure stage x-y-z axes during rapid moving. Explore the common p

英文关键词： flexure finge；fast scanning；couple vibration；dynamic model；atomic force microscope