激光辅助水射流近无损伤微细加工关键技术研究

项目名称： 激光辅助水射流近无损伤微细加工关键技术研究

项目编号： No.51375273

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 王军

作者单位： 山东大学

项目金额： 75万元

中文摘要： 本项目融合水射流和激光加工技术于一体，创建一种新的激光辅助水射流近无损伤微细加工技术及系统，采用激光加热并软化工件材料、水射流驱除及冷却的耦合效应去除材料，用于微细结构的高效、低成本、高质量、近无损伤微细加工，并对其基础理论进行系统研究。该技术能够对水射流束和激光束分别进行独立控制，实现水射流束和激光束耦合的加工工艺。研究基于激光加热、水射流驱除及冷却和工件材料相互作用的水射流和激光耦合效应，建立新的水射流-激光耦合效应理论模型，揭示激光加热、水射流驱除及冷却和工件材料之间的相互作用机理及材料去除机理，以便加快材料切除过程，降低热影响，达到近无损伤去除材料的效果。并建立近无损伤微细加工时的工艺参数优化模型和材料去除率模型，优化工艺参数，提高加工效率。本项目的研究成果对于提高微细加工技术的加工效率和加工质量，促进微细加工技术的创新和发展具有重要的理论意义与实际应用价值。

中文关键词： 近无损伤微细加工；耦合效应；水射流加工；激光加工；去除机理

英文摘要： In this project, the waterjet and laser machining technologies are integrated to establish a new laser assisted waterjet micromachining technology and prototype system for damage-free micro-fabrication. In this new technology, the coupled effect of laser

英文关键词： damage-free micromachining；coupled effect；waterjet machining；laser machining；machining mechanisms